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Notice complète

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Application de la gravure laser directe à la personnalisation des circuits intégrés et à la fabrication de modules d'interconnexion multipuces en technologie couches minces
Auteur :
Fathi, Mohamed  
Contributeur :
Danto, Yves 1942-.... (Directeur de thèse)  
Université de Bordeaux I. 1970-2013  
Date de publication :
1996  
Autre titre :
APPLICATION OF DIRECT LASER WRITING FOR CUSTOMIZATION OF IC'S AND FABRICATION OF MULTICHIP MODULES USING THIN FILMS TECHNOLOGY  
Langue :
français  
Discipline :
Électronique  
Notes :
Thèse de doctorat, 1996 ; 1451, Bordeaux 1  
Type de document :
Travaux universitaires  

Université de Bordeaux

Bibliothèque Localisation Statut Condition Vol. Cote
ST-BU SC. ET TECHNIQUES Magasin Accueil Niveau 0 Disponible Prêt 28 j. FT 96.B-1451
ST-BU SC. ET TECHNIQUES Magasin Accueil Niveau 0 Disponible Prêt 28 j. FTR 96.B-1451
Collation :
199 p ; 30 cm  
Provenance :
SF (PPN004985982)  
Origine :
BaBord  
Identifiant d'origine :
64982  

L'APPLICATION DE LA LITHOGRAPHIE LASER DIRECTE A LA PERSONNALISATION DES CIRCUITS INTEGRES ET A LA REALISATION DE MODULES D'INTERCONNEXION MULTIPUCES MCM PRESENTE DE NOMBREUX AVANTAGES, NOTAMMENT POUR LA REALISATION DE PROTOTYPES. NOUS AVONS ELABORE ET CARACTERISE LES PROCEDES ET LES REGLES SPECIFIQUES A L'UTILISATION DE LA STATION D'ECRITURE LASER DIRECTE CONCUE ET REALISEE DANS NOTRE LABORATOIRE. UN MODELE DE L'INTERACTION LASER/RESINE A ETE DEVELOPPE ET PERMET D'EFFECTUER UNE PREVISION DES LARGEURS DE GRAVURE EN FONCTION DES PARAMETRES DU PROCEDE D'INSOLATION LASER. DANS LE BUT DE REALISER UN CONTROLE ACTIF DU PROCESSUS DE FABRICATION, NOUS AVONS AUTOMATISE CERTAINES ETAPES SENSIBLES TELLES QUE LA CUISSON DU DIELECTRIQUE POLYIMIDE ET LE POSITIONNEMENT DE L'ORIGINE DES MASQUES NUMERISES. L'ENSEMBLE DE CES TRAVAUX EST VALIDE PAR LA REALISATION D'UN MODULE MCM FONCTIONNEL ET PAR LA PERSONNALISATION D'UNE MATRICE PREDIFFUSEE BIPOLAIRE

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